2019年11月真空进展
发布时间:2019-11-30 00:00  访问量:487

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       2019年11月,基于镀铜方案测试结果,考虑出气率和解析率问题,项目组开展了氧化锆陶瓷镀金膜技术,通过薄膜表征分析、力学性能测试、高温烘烤测试及出气率测试发现,镀金瓷环出气率和解析率优于镀铜瓷环,同时验证了镀金膜方案的可靠性及真空性能。

       图1 为磁控溅射镀膜室;

       图2 为金膜附着力测试结果;

       图3 为金膜EDS分析结果。(真空技术室 罗成摄)