通过先放置陶瓷环后进行腔体焊接的工艺，完成了首台60°全尺寸陶瓷内衬超薄壁极高真空室样机研制，并对真空漏率及极限真空进行了测试。

        测试平台采用钛升华泵和溅射离子泵作为主抽泵。真空度测量采用CM52真空计，配用IE514规管（测量范围2E-12mbar ~1E-4mbar），其中真空规A用来测量泵室处真空度，真空规B用来测量泵口远端真空度；先对整个测试装置进行多次抽空检漏，漏率＜5E-12mbar.L/s,满足设计指标。

        图1为极限真空测试平台及最终极限真空，关闭烘烤系统48小时后读数，此时泵室处真空度为8E-12mbar，泵口远端为1.06E-10mbar。并按照两端配泵状态（图2所示），对真空度分布进行了理论计算，图3为两端配泵状态下真空度分布曲线，二极铁真空室中间压力最高，约为3.3E-11mbar，两侧泵室处约为5.2E-12mbar。该样机的研制成功，为后续工艺探索、结构优化提供了设计依据。（真空技术室 谢文君摄）