2019年11月，基于镀铜方案测试结果，考虑出气率和解析率问题，项目组开展了氧化锆陶瓷镀金膜技术，通过薄膜表征分析、力学性能测试、高温烘烤测试及出气率测试发现，镀金瓷环出气率和解析率优于镀铜瓷环，同时验证了镀金膜方案的可靠性及真空性能。

       图1 为磁控溅射镀膜室；

       图2 为金膜附着力测试结果；

       图3 为金膜EDS分析结果。（真空技术室 罗成摄）