2020年11月，完成了陶瓷内衬薄壁二极铁真空室样机（截面132mm×90mm）极限真空测试及氧化锆陶瓷长期烘烤稳定性测试。

        该样机在极限真空测试平台完成测试，主抽泵采用溅射离子泵及钛升华泵。测试前进行了300℃X48小时在线烘烤除气。最终泵口真空度4.2E-12mbar，远端真空度2.83E-11mbar。下一步将探索放置吸气剂带后对极限真空和真空梯度的影响程度。

        同时，完成了二十二轮铈稳定氧化锆陶瓷高温抗老化试验，结果表明铈稳定氧化锆具有更好的耐温性及力学性能，长期烘烤后的铈稳定氧化锆对其力学性能基本没有影响。

        图1  陶瓷内衬薄壁真空室极限真空测试

        图2  样机测试压力曲线

        图3  氧化锆长期烘烤实验平台

        （真空技术室 高彦民 刘建龙 摄）