2020年9月，完成了陶瓷内衬薄壁二极铁真空室样机（截面132×90mm）的出厂前测试，测试结果良好。

       该样机采用先放置陶瓷环后进行薄壁腔体焊接的方案，通过不断的工艺探索确定了薄壁腔体冲压、陶瓷环镀金及腔体焊接等关键工艺参数。整体漏率≤5×10^-8 Pa.L/s，满足设计要求。同时在厂家进行真空和大气两种状态下尺寸及形位公差检测，测试发现薄壁真空室在两种状态下的尺寸相差不大，尺寸满足设计要求。同时对真空卫生和质量控制文件进行了检查，符合质量控制要求。下一步将发往所内，进行极限真空测试。

         图1  陶瓷内衬薄壁真空室样机

        图2  陶瓷内衬薄壁真空室漏率检测  

        图3  陶瓷内衬薄壁真空室尺寸测量（截面尺寸）

        图4  陶瓷内衬薄壁真空室尺寸测量（半径和角度）

          （真空技术室 蒙峻 杨伟顺 摄）