2024年1月30日,束诊拦截式及非拦截式探针洁净间标定测试平台均搭建完成,包括光学平台准直测量调平、龙门吊安装、测试网络调试、测试系统搭建、系统软硬件调试等。同时完成了洁净间的清洁整理、换气、空调测试运行及洁净度测试,洁净度满足要求。最终,梳理细化了束诊设备上线前离线标定流程,标准化了洁净间操作规范,以确保高真空需求。
洁净间标定测试平台的搭建完成,标志着束诊系统可随时进入离线标定测试状态,为上线安装做好准备。
图1为非拦截式探针洁净间
图2为非拦截式探针洁净间标定测试平台
图3为非拦截式探针洁净间标定测试准备相关仪器及设备器件
图4为光学标定平台准直测量调平
图5为非拦截式探针洁净间
图6为激光尘埃粒子计数器洁净度测试