2019年06月真空进展
发布时间:2019-06-30 00:00  访问量:474

图片说明:

        通过先放置陶瓷环后进行腔体焊接的工艺,完成了首台60°全尺寸陶瓷内衬超薄壁极高真空室样机研制,并对真空漏率及极限真空进行了测试。

        测试平台采用钛升华泵和溅射离子泵作为主抽泵。真空度测量采用CM52真空计,配用IE514规管(测量范围2E-12mbar ~1E-4mbar),其中真空规A用来测量泵室处真空度,真空规B用来测量泵口远端真空度;先对整个测试装置进行多次抽空检漏,漏率<5E-12mbar.L/s,满足设计指标。

        图1为极限真空测试平台及最终极限真空,关闭烘烤系统48小时后读数,此时泵室处真空度为8E-12mbar,泵口远端为1.06E-10mbar。并按照两端配泵状态(图2所示),对真空度分布进行了理论计算,图3为两端配泵状态下真空度分布曲线,二极铁真空室中间压力最高,约为3.3E-11mbar,两侧泵室处约为5.2E-12mbar。该样机的研制成功,为后续工艺探索、结构优化提供了设计依据。(真空技术室 谢文君摄)