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陶瓷内衬超薄壁极高真空室

2020年09月真空进展

9月,陶瓷内衬薄壁真空室样机完成了出厂前测试,测试结果良好。

2020年07月真空进展

2020年7月,完成了51件陶瓷环镀Au/Ti/Cu/Ti薄膜,并打包后发往相关厂家与薄壁真空室进行组装。

2019年11月真空进展

基于前期调研结果,项目组开展了氧化锆陶瓷镀金膜技术。

2019年06月真空进展

2019年6月,真空系统完成了全尺寸60°陶瓷内衬超薄壁极高真空室漏率及极限真空测试。