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陶瓷内衬超薄壁极高真空室

2021年08月真空进展

2021年8月,完成了陶瓷内衬薄壁二极铁真空室烘烤支架与磁铁联合升降测试。

2020年11月真空进展

2020年11月,完成了陶瓷内衬薄壁二极铁真空室样机极限真空测试及氧化锆陶瓷长期烘烤稳定性测试。

2020年09月真空进展

2020年9月,陶瓷内衬薄壁真空室样机完成了出厂前测试,测试结果良好。

2020年07月真空进展

2020年7月,完成了51件陶瓷环镀Au/Ti/Cu/Ti薄膜,并打包后发往相关厂家与薄壁真空室进行组装。

2019年11月真空进展

2019年11月,基于前期调研结果,项目组开展了氧化锆陶瓷镀金膜技术。

2019年06月真空进展

2019年6月,真空系统完成了全尺寸60°陶瓷内衬超薄壁极高真空室漏率及极限真空测试。